Sercel And Tronic's Team Up For MEMS Based Geophones

Sercel an TRONIC'S Microsystems, hu fir d'Produktioun vun enger neier Generatioun vu seismesche Sensoren, oder Geophonen, baséiert op MEMS zesummegeschafft. Entworf vum CEA Leti, ass den 0,1 ug Resolutiounsbeschleuniger, deen ënner Vakuum verpackt gouf, optimiséiert an industrialiséiert vun TRONIC'S Microsystems.
Geophonen enthalen ee vun de Schlësselprodukter vu Sercel (F), de Weltleader a seismescher Ausrüstung fir Ueleg- a Gasfuerschung. Extrem sensibel Sensoren moossen d'Geophonen d'Reflexioun vun akustesche Wellen, déi op der Uewerfläch vum Feld geschéckt ginn, an de verschiddene geologesche Schichten (kuck d'Figur 1). D'Donnéeë ginn da benotzt fir geologesch Ëmfro Kaarten ze zeechnen, déi d'Lag an d'Gréisst vun Ueleg- a Gasreserven uginn.
Geophonen, och wa se deier elektromagnetesch Komponente sinn (kuck Figur 2), waren éischter schwéier an ëmständlech well se mat Kabele mat enger zentraler Veraarbechtungseenheet verbonne musse ginn. Modern Uelegfuerschung verlaangt elo ëmmer méi liicht, méi mobil Léisunge fäeg mat ganz héijer Präzisioun.

MEMS baséiert Geophon
De Sercel huet e puer Joer mam CEA Leti (F) zesumme geschafft fir d'Machbarkeet ze weisen an e MEMS baséiert Geophon ze designen. D'Zesummenaarbecht huet zu engem Prototyp vun engem wäit méi klengen a liichte Beschleunigungsmeter baséiert Geophon resultéiert (kuck Figur 2 an Tabell 1).

De Prototyp erreecht déi erfuerderlech Extremleeschtungen: eng Resolutioun bis zu 0,1 ug, manner wéi e Milliounstel vun der Äerdschwéierkraaft, iwwer eng Gamme vu +/- 100mg.

Wéi och ëmmer, eng vun de gréissten Erausfuerderunge fir d'MEMS-baséiert Léisung vum Laboratoire op d'Produktiounslinn ze verleeën. MEMS präsentéieren eigentlech keng Standardfabrikatiounsprozesser an hunn extrem exigent Verpackungsufuerderungen a komplex spezifesch Testprozeduren. Sercel brauch dofir e personaliséierte MEMS Hiersteller deen säi MEMS Konzept an en zouverléissegt Industrieprodukt transforméiere kann.

Geophone Industrialiséierung
TRONIC'S Microsystems (F), erfuerene beim Industrialiséieren a Fabrikéiere vu personaliséierte MEMS Accelerometer, hunn och d'Bausteng vun der Sercel Geophone Technologie beherrscht.

D'Firma High-End personaliséiert MEMS Fabrikatioun Geschäftsmodell war och besonnesch passend fir Sercel's Fabrikatiounsbedierfnesser. Dofir sinn déi zwou Firmen eng Geschäftspartnerschaft agaang

Vun de Prototypen un huet Tronic den Apparat optimiséiert a seng spezifesch Prozess- a Vakuumverpackungstechnik qualifizéiert. De franséische Produzent assuréiert déi éischt Serie Liwwerungen Ufank 2003 a liwwert haut verpackt a gepréift Geophone Komponenten (kuck Figur 3) déi Sercel an nei digital Systemer integréiert.

Vakuum Package fir MEMS
Fir de molekulare Kaméidi op der Struktur ze reduzéieren an déi néideg Leeschtungsniveauen z'erreechen, ëmkapselt TRONIC'S d'Siliziummikrostruktur ënner engem ganz héije Vakuumëmfeld an enger LCC Verpackung. Dës Verpakung erlaabt dem MEMS Geophone e Q Faktor vun iwwer 10.000 ze iwwerschreiden (geschätzte Vakuum am Beräich 1mTorr).

Méi kleng a méi liicht, de Vakuumverpackte MEMS Geophon iwwerzeegt souguer aner Schlësselspezifikatioune vun den traditionelle Geophonen (kuck Tabell 1).

Zousätzlech kënnen 3 MEMS Geophonen och an engem ganz klenge Raum integréiert sinn mat sengem digitalen elektroneschen eliminéiert e puer vun de Kabele virdrun erfuerderlech. Deen neie MEMS baséiert Geophon erliichtert dofir de Logistik fir Sercel Clienten wärend et 3 Komponentemessunge mat enger méi héijer Dynamik erlaabt.

Duerch dës Zesummenaarbecht huet TRONIC'S Microsystems weider seng Fäegkeet bewisen, personaliséiert MEMS Konzepter an zouverléisseg héich performant Produkter fir Demadéierungsapplikatiounen ze transforméieren.


Postzäit: Sep-02-2020